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超纯水设备工艺技术与传统的蒸馏法相比较，超纯水设备用反渗透法为基础再联合了最新电去离子(EDI)技术的新工艺具有明显的优越性和先进性。1.高效节能。主要有多级蒸馏、高压分级蒸馏和离心净化蒸馏几种工艺。所有蒸馏方法均在120°C高温状态下进行，所以可以得到完全无菌的水。因此，运行当中能源的消耗相当大;同时因为温度较高，所有设备组成部分必须耐受高温冲击，设备的造价及维护费用高昂。反渗透技术结合高效臭氧消毒方法，整个系统工作于常温、低压状态，设备投资省，运行维护费用低，可靠节能:膜处理法的运行成本仅为蒸馏方法的12-15%，非常经济，极具竞争力。2.稳定可靠。随着工业化进程的不断加快，大量而成份复杂的废物排放使世界范围的污染变得日益严重，其中水资源的污染较之以往更加严峻。易挥发有机污染物因其沸点大都低于水的汽化温度，如不加处理，蒸馏过程中极易进入产成水中，单纯蒸馏方法无法将其有效去除，必须倚重活性碳吸附等过滤办法，增加了系统和水质的不稳定性。膜法工艺采用多介质过滤器进行预处理;反渗透膜的微孔透过式工作原理保证了去除水体中所有较大的离子、分子，可以轻松去除分子直径更大的易挥发有机污染物质，从根本上保证有机物指标达到药典规定指标。
超纯水处理设备的工艺流程大致分成以下几种
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为:原水→沙炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置紧密过滤器→用水点 三种制备工业用超纯水的工艺比较目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。超纯水工艺流程图