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| 品牌 | 英鹏 |
| 型号 | YP-150IS/EX |
| 腔体尺寸 | 石英玻璃，直径150mm*高度130mm |
| 供电规格 | AC220V,200W |
| 溅射电压 | MAX 2500V |
| 溅射电流 | MAX 30mA |
| 靶材尺寸 | 直径57mm,厚度0.1~0.5mm |
| 适用靶材 | 贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt, |
| 普通金属Cu、W、Ag、Cr等 | |
| 样品台可调高度 | 20-50mm |
| 样品台尺寸 | 直径55mm |
| 工作真空度 | 1~20Pa |
| 气体路数 | 单路 |
| 补气流量 | 手动调节 |
| 控制 | 触屏控制 |
| 真空泵 | VRD-8 |
| 品牌 | 英鹏 |
| 型号 | YP-150IS/EX |
| 腔体尺寸 | 石英玻璃，直径150mm*高度130mm |
| 供电规格 | AC220V,200W |
| 溅射电压 | MAX 2500V |
| 溅射电流 | MAX 30mA |
| 靶材尺寸 | 直径57mm,厚度0.1~0.5mm |
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适用靶材 |
贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt, 普通金属Cu、W、Ag、Cr等 |
| 样品台可调高度 | 20-50mm |
| 样品台尺寸 | 直径55mm |
| 工作真空度 | 1~20Pa |
| 气体路数 | 单路 |
| 补气流量 | 手动调节 |
| 控制 | 触屏控制 |
| 真空泵 | VRD-8 |
原文链接：http://www.knots.cn/chanpin/show-253997.html，转载和复制请保留此链接。
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